Temperature measurement; Temperature sensors; Transmitters; Pressure measurement; Pressure sensors; Silicon; Micromechanical devices;
机译:工业应用硅压敏MEMS压力传感器的温度测量性能
机译:高敏感的石墨烯压阻MEMS压力传感器通过在硅隔膜中的杆梁整合进行低压测量应用
机译:压力范围对多晶硅压阻MEMS压力传感器电阻率(TCR)温度系数的影响
机译:硅压阻MEMS压力传感器智能工业测量仪器
机译:柔性基板上的MEMS压阻式压力传感器,采用镍铬合金和CNT /聚酰亚胺纳米复合材料作为压阻器。
机译:阵列型MEMS压阻智能压力传感器系统的设计制造和实现
机译:基于硅MEMS压力传感器的智能工业仪表
机译:Kilobar Blast压力传感器 - 使用硅传感器技术的3.4 Kilobar压阻式爆破压力传感器。