Resist strip; Cleaning; EUV mask; 193i mask; Photolysis; Haze; SPM-free; NH_4OH-free;
机译:高级FEOL节点的抗蚀剂剥离:使用添加剂改进基于臭氧扩散的工艺
机译:空气中单个微米级硫酸铵水溶液小滴的冷冻过程的原位观察
机译:使用逻辑过程垂直寄生BJT(VPBJT)开关和无读取干扰的温度感知电流模式读取方案的高效区域嵌入式电阻式RAM(ReRAM)宏
机译:用于高级FEOL节点的抗拒剥离:通过使用添加剂的基于臭氧扩散的过程改进
机译:开发真空热汽提 - 酸吸收体系,用于从废水中恢复氨并消化以生产硫酸铵
机译:柠檬酸盐缓冲液在使用玉米秸秆的丙酮-丁醇-乙醇(ABE)发酵中的重要作用并通过汽提-蒸汽渗透(VSVP)过程高效回收产品
机译:抵抗高级FEOL节点的剥离:通过使用添加剂改进基于臭氧扩散的过程
机译:初步提交:Rg-71b月桂基硫酸铵和Rg-71s月桂基硫酸铵的初级皮肤刺激研究(最终报告),封面信函日期为060592。