Resonant frequency; Frequency control; Gyroscopes; Voltage control; Frequency modulation; Force;
机译:使用电容感应方案的谐振频率敏感MEMS带通滤波器
机译:使用电容感应方案的谐振频率敏感MEMS带通滤波器
机译:陀螺仪的数字接口,使用带通sigma-delta调制来控制主模式和辅助模式
机译:机电带通Δ-Σ调制器内电容性MEMS陀螺仪的谐振频率控制和数字校正
机译:迈向导航级MEMS陀螺仪的设计,控制和MEMS陀螺仪的错误缓解
机译:用于MEMS陀螺仪读出系统的具有信号观察功能的自动调谐连续时间带通Sigma-Delta调制器
机译:具有无约束sigma-Delta力反馈的闭环数字控制mEms陀螺仪
机译:绝缘体上硅(sOI)微电子机械系统(mEms)陀螺仪传感器作为双轴加速度计的操作。