charge carrier transport; grain orientation transition; nanocrystalline; silicon;
机译:使用60 MHz辅助VHF-PECVD技术高速生长的混合相硅薄膜
机译:中性束沉积法低温制备纳米晶硅薄膜
机译:VHF PECVD法生长薄膜太阳能电池用低温微晶硅薄膜
机译:通过近室温度沉积工艺在混合相纳米晶体薄膜中具有低角度横向生长晶粒的高掺杂和高晶体馏分的新方法,通过近距离沉积工艺进行中性梁辅助CVD
机译:通过光子辅助的电子回旋共振化学气相沉积法生长的非晶和微晶硅薄膜,用于异质结太阳能电池和薄膜晶体管。
机译:PECVD对低温生长的掺硼氢化晶体硅的退火
机译:低压化学气相沉积(LpCVD)合成及表征混合相锐钛矿型TiO2和钠掺杂TiO2(B)薄膜
机译:衬底温度和氢稀释比对热线化学气相沉积法生长纳米硅薄膜性能的影响