silicon; silicon compounds; dielectric thin films; elemental semiconductors; solar cells; semiconductor thin films; chemical vapour deposition; passivation; antireflection coatings; nitridation; carrier lifetime; surface recombination; catalysis; highly moisture resistive SiN/sub x/ films; catalytic chemical vapour deposition; catalytic CVD; passivation; antireflection coating; crystalline Si solar cells; nitridation; SiN/sub x/ deposition; carrier lifetime; surface recombination velocity; remote plasma enhanced chemical vapour deposition; NH/sub 3/-decomposition; 600 mus; 20 to 30 cm/s; Si; SiN/sub x/;
机译:催化化学气相沉积法制备的高耐湿性SiN_x薄膜
机译:用于单晶硅太阳能电池的等离子增强化学气相沉积SiN_x双层减反射涂层
机译:通过催化化学气相沉积制备的高耐湿氮化硅膜并将其应用于砷化镓场效应晶体管
机译:通过催化化学气相沉积的高度耐湿性Sin / Sub X /薄膜及其在晶体Si太阳能电池的钝化和抗反射涂层中的应用
机译:多尺度计算流体动力学建模:并行化及其在薄膜太阳能电池等离子体增强化学气相沉积设计和控制中的应用
机译:用于太阳能电池的有机-无机铋基钙钛矿薄膜的化学气相沉积
机译:沉积温度对纳米晶Cds薄膜的影响:在太阳能电池中的应用作为抗反射涂层
机译:用于低成本太阳能电池应用的薄膜沉积的激光加热CVD(化学气相沉积)工艺:最终转包报告,1984年2月1日至1987年2月28日