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Focused ion beam post-processing for single mode photonic crystal vertical cavity surface-emitting lasers

机译：单模光子晶体垂直腔面发射激光器的聚焦离子束后处理

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In this paper, we present the first photonic crystal VCSELs fabricated using FIBE method whereby photonic crystal holes can be etched into prefabricated VCSELs.

机译：在本文中，我们介绍了使用FIBE方法制造的第一批光子晶体VCSEL，从而可以将光子晶体孔蚀刻到预制的VCSEL中。

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来源
《》|2003年|p.155-156|共2页
会议地点
作者
Danner; A.J.; Yokouchi; N.; Raftery; J.J.; Jr.; Choquette; K.D.;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类无线电电子学、电信技术;
关键词
photonic crystals; surface emitting lasers; focused ion beam technology; sputter etching; silicon compounds; focused ion beam post-processing; photonic crystal vertical cavity surface-emitting lasers; VCSEL; FIB etching method; SiO/sub 2/;

机译：光子晶体;表面发射激光器;聚焦离子束技术;溅射刻蚀;硅化合物;聚焦离子束后处理;光子晶体垂直腔表面发射激光器; VCSEL; FIB刻蚀方法; SiO / sub 2 /;

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