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机译:用于皮克级超声波位移测量的灵敏电磁声换能器
机译:使用高度可折返的84 MHz腔振荡器的灵敏位移传感器
机译:MAMOS-A用于全数字集成AC加速度计的新型位移敏感传感器
机译:具有集成光学位移检测的微机械宽带声换能器
机译:具有改进的电感器品质因数的稳健的全集成数字输出电感式CMOS-MEMS加速度计
机译:加速度计与平行链路机制的检测系统通过集成加速和各自校正加速度计的分离计算
机译:先进的传感器。 a阶段 - 数字传感器和数字兼容技术的研究