RC 発振器型高感度容量検出回路

摘要

容量検出回路は，MEMS (Microelectromechanical systems)1貫t生センサや，タツチセンサ，近接センサなどのセンサデバイスの容量変化を電圧/電流信号に変換するインターフェース回路である。この容量検出回路の高感度化は， 新たなアプリケーション領域の開拓を可能にする。例えばMEMS慣性センサでは，より微弱な振動の検出によって，震えを伴う難病の早期診断や，車や電車などの乗り心地改 善などが可能になる。