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Refraction index heterogeneity in HfO_2 coatings

机译:HfO_2涂层的折射率异质性

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摘要

refraction index heterogeneity in e-beam evaporated HfO_2 films induces difficulties in reaching the calculated optical function of interference filters. These refraction heterogeneities are analyzed regarding the deposition conditions and material characterizations.
机译:电子束蒸发的HfO_2薄膜的折射率异质性导致难以达到计算出的干涉滤光片的光学功能。关于沉积条件和材料表征分析了这些折射异质性。

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