Applied Physics Laboratory, Johns Hopkins University 11100 Johns Hopkins Rd., Laurel, MD 20723-6099;
interferometry; ellipsometry; maximum-likelihood; cramer-rao lower bounds; estimation theory;
机译:相移干涉仪/椭圆仪能够测量复杂的折射率和测试表面的表面轮廓
机译:相移干涉仪/椭圆仪能够测量复杂的折射率和测试表面的表面轮廓
机译:移相干涉仪不受倾斜相移误差影响的算法
机译:基于任务的相移干扰仪/椭圆仪评估
机译:提出的相移干涉仪/椭圆仪的基于任务的评估。
机译:用相移楔形反向剪切干涉仪完整表征超短光脉冲
机译:提议的相移干涉仪/椭圆仪的基于任务的评估