Department of Ophthalmology University of California at San Francisco;
机译:用于MEMS器件的精密单晶硅表面的断裂制造
机译:利用光学MEMS混合器件实现可靠的精确位置检测
机译:在自助伺服写入过程中在基于MEMS的存储设备中实现亚纳米精度
机译:精密MEMS细胞显微外科纳米切割装置
机译:微H乳房:研究对微流体MEMS装置的影响的细胞反应
机译:超越CMOS:III-V器件RF MEMS和其他异种材料/器件与Si CMOS的异构集成以创建智能微系统
机译:芯片原子设备:基于mEms的精密原子仪器
机译:芯片级原子器件。基于激光器,原子和mEms的精密仪器