W-Zn-O青色蛍光体薄膜中の金属組成と発光特性の関係

摘要

次世代LED向けの発光方式として、スぺク トル設計の柔軟さから紫外励起蛍光体を組 み合わせる方式が注目されている。これまで にRFマグネトロンスパッタ法と急速熱酸化 処理を用いたW-Zn-0青色蛍光体（WZO) を石英基板上に膜状合成する手法を見出し ている[1]。本研究では、WZO膜中の金属元 素組成が発光特性に及ぼす影響を検討した。