JSR Corporation, 100 Kawajiri-cho, Yokkaichi, Mie, 510-8552, Japan;
Tokyo Electron Kyushu Ltd. Fukuhara, Koushi-shi, Kumamoto, 869-1116, Japan;
193 nm immersion lithography; developer soluble type topcoat material; chemical cost; coating process;
机译:显影剂可溶的间隙填充材料的开发,用于先通过双镶嵌工艺进行平面化
机译:用于材料表面改性的等离子体浸没离子注入(PIII)和沉积(PIII&D)处理的改进
机译:残留氧对材料等离子浸没离子注入(PI3)处理的影响
机译:显影剂可溶性浸渍面漆材料的过程优化
机译:通过加工和形态设计优化有机材料中的能量转化。
机译:喷雾干燥工艺数据以优化对热量和水分含量敏感的材料的产量
机译:在浸入不同饮料后,对水吸附,溶解度和表面粗糙度的体外评估,溶解度和胶质粉材料
机译:skylab材料加工设施实验开发人员的报告