Center for Precision Engineering Harbin Institute of Technology Harbin 150001 China;
ultra precision; motion control; compound control; fuzzy; cross-coupled;
机译:超精密机床的复合模糊运动控制研究
机译:多轴联动数控机床的运动平滑度和加工精度控制策略
机译:使用具有彩色共焦探针的机器计量系统对超精密机床的10 nm运动误差补偿的试验
机译:超精密机床复合模糊运动控制研究
机译:使用二维激光标尺系统的超精密机床动态运动误差补偿的研究。
机译:基于慢刀伺服的复合正弦网格曲面的超精密加工
机译:使用具有彩色共焦探针的机器计量系统对超精密机床的10nm运动误差补偿的试验
机译:用于机床精密控制的超声波厚度测量。