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Highly Conductive and Transparent Electrodes for the Application of AM-OLED Display

机译:适用于AM-OLED显示器的高导电透明电极

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摘要

We prepared highly transparent and conductive Oxide/Metal/Oxide(OMO) multilayer by sputtering and developed wet etching process of OMO with a clear edge shape for the first time. The transmittance and sheet-resistance of the OMO are about 89% and 3.3 Ω/sq., respectively. We adopted OMO as a gate electrode of transparent TFT (TTFT) array and integrated OLED on top of the TTFT to result in high aperture ratio of bottom emission AM-OLED.
机译:我们通过溅射制备了高度透明和导电的氧化物/金属/氧化物(OMO)多层,并首次开发了具有清晰边缘形状的OMO湿法蚀刻工艺。 OMO的透射率和薄层电阻分别约为89%和3.3Ω/ sq.。我们采用OMO作为透明TFT(TTFT)阵列的栅电极,并在TTFT的顶部集成OLED,以实现底部发射AM-OLED的高开口率。

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