局所配向誘引構造を組み込hだ面内電界駆動液晶装荷シリコン細線 MZ 型光スイッチの作製

机译：具有内置局部取向吸引结构的面内电场驱动液晶负载硅细线MZ型光开关的制作

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シリコン細線導波路のクラッドに液晶を装荷したスイッチングデバイスは小型化と低消費電力化が期待できる. このようなデバイスでは液晶の初期配向制御が重要である. これまで我々は, 微細な溝配列による液晶の局所的な配向誘引構造を組み込hだ垂直電界駆動(VA) 方式のマッハツェンダ (MZ) 型光スイッチを実現してきた . 本研究では, この配向誘引技術をもう一つの代表的な液晶駆動方法である面内電界駆動(IPS) のMZ 型光スイッチに導入した.

机译：可以预期，将液晶装载在硅线波导中的开关装置会更小，功耗更低，因此，控制液晶的初始取向非常重要，我们已经实现了垂直电场驱动器（VA）型Machzenda（MZ）型光开关结合了液晶的局部取向吸引结构，在这项研究中，这种取向吸引技术被用作另一种典型的液晶驱动器。平面电场驱动（IPS），这是一种方法。

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来源
《2019年第66回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集》|2019年|03.065|共1页
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作者
宇田成孝; 渥美裕樹; 三浦登; 榊原陽一;
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