Institute of NanoEngineering and MicroSystems, National Tsing Hua University Hsinchu 30013, Taiwanc;
CMOS-MEMS; back-end of line (BEOL); beat frequency; dual-mode; resonators;
机译:用于EPR光谱的高频单模谐振器,使样品能够绕两个正交轴旋转
机译:在可见波长下的单模氮化硅体育场谐振器中增强了灵敏度
机译:增强了单模氮化硅体育场谐振器在可见波长下的灵敏度
机译:通过正交轴中的谐振模式增强了单个CMOS-MEMS谐振器的温度敏感性
机译:具有用于滤波器和温度传感器应用的嵌入式加热器的CMOS-MEMS新型谐振器的设计,制造和表征。
机译:基于灵敏度平衡双谐振器的量程为1 MPa的谐振压力微传感器
机译:用于EPR光谱的高频单模谐振器,使样品能够绕两个正交轴旋转
机译:电子双旋转石英厚度模式谐振器谐振频率的温度依赖性。