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Mode selective probing method of micro trench structure using optically trapped probe

机译:利用光阱探针的微沟槽结构的模式选择探测方法

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摘要

Probing techniques using the optically trapped probe with selective mode such as circular motion mode and SWS sensing mode are presented. The feasibility of both probing modes is confirmed by dimensional measurements of micro trench structure which is performed using the originally developed measurement system based on a CMM.
机译:提出了使用具有选择性模式(例如圆周运动模式和SWS感应模式)的光阱探针的探测技术。两种探测模式的可行性都通过使用基于CMM的最初开发的测量系统对微沟槽结构进行尺寸测量得到了证实。

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