组态软件技术在PECVD设备中的应用

摘要

介绍了等离子体增强化学气相淀积PECVD半导体技术与工业自动化系统中组态软件监控技术的特点，提出了一种新型的组态软件监控画面组态方法，并将其应用到PECVD 设备中。试验结果表明，组态监控技术对快速构建PECVD 设备监控系统平台有重要意义，它有效解决了PECVD 监控系统开发难度大、开发周期长以及系统可扩展性差等问题。