基于AUKF的AFM轻敲模式成像方法研究

摘要

针对原子力显微镜(AFM)在轻敲高速扫描模式下成像误差较大的缺点，本文提出了一种基于参数自适应无迹卡尔曼滤波(AUKF)的成像方法。具体而言，论文首先分析了当前轻敲模式下成像方法的缺点，然后提出了一种基于新息和残差的自适应滤波成像方法，该方法考虑了针尖与样品间的非线性力关系，并融入了过渡过程中的动态数据信息，有效地提高了成像精度。最后论文用AFM虚拟仿真实验系统的数据，验证了该成像方法的良好性能。