声表面波器件的快速有限元/边界元模拟

摘要

改进了漏波近似体波格林函数的快速有限元/边界元方法,并应用于声表面波射频标签的分析.Peach提出漏波近似体波格林函数的理论但其方法需要经验公式计算漏波参数,提出了不需要经验公式的改进方法.该方法根据衰减不同的漏波在空间域的分布不同的原理,在空间域格林函数中区分出各漏波的贡献,然后采用数学拟合提取出漏波参数,最后以128°YX-LiNbO3基片为例计算证实了该方法的有效性.采用改进的快速有限元/边界元分析一种声表面波射频标签器件,仿真与实验吻合证明了该方法的精确性.