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飞秒激光在微加工中的应用

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本次报告将要介绍的飞秒激光在微加工中的应用,可以说即用到了飞秒激光的快,又用到了飞秒激光的强,且在不同的情况下侧重点有所不同.

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《2012年全国光学元件及光学仪器产业发展论坛》|2012年|62-65|共4页
会议地点北京
作者

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作者单位

中国光学光电子行业协会;

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中图分类制造工艺及设备;
关键词
光电器件; 微加工工艺; 飞秒激光技术;

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