钛酸锶钡薄膜调谐性能研究进展

摘要

制备工艺对BST薄膜的微观结构有着重要的影。溶胶-凝胶法制备的薄膜致密性较差，究其主要原因是在排胶过程中分解和挥发大量的有机物。可在前驱液中添加丙三醇、PVP改变薄膜的表面形貌，从而提高BST薄膜的介电调谐性能。然而，对于多层BST薄膜，添加剂仅在一定程度上改变其形貌。经首层薄膜进行中间热处理(PT)和交替对奇数层进行中间热处理后，薄膜裂纹和缩孔显著减少，钙钛矿进一步增多，介电损耗明显降低，介电稳定性大幅度提高。制备大介电调谐率、低介电损耗、适中偏小介电常数的BST薄膜仍是研究的主题。选择一定的Ba/Sr元素比和适宜的掺杂元素，结合改进的溶胶-凝胶法制备工艺来制备多层BST薄膜，可获得具有巨调谐性能的BST薄膜，并进一步探索BST薄膜的介电调谐率机理。