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多晶硅副产物二氯二氢硅的回收利用

摘要

二氯二氢硅(DCS)是多晶硅生产过程中的副产物,由于其化学性质活泼,系统内含量大时存在安全风险,且在传统处理方式下对环境造成威胁.本文讲述了通过对二氯二氢硅的回收再利用一方面降低了系统的安全风险,另一方面对企业的降本增效起到了积极的作用.

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