稀土抛光粉的产业现状及发展方向

摘要

稀土抛光材料是一个非常重要的应用领域，涉及半导体制造(浅草隔离的CMP )，光学器件以及平板玻璃的精密加工(LCD, TFT, STN )，硬盘基材的平坦化等(GHD)。本文从生产工艺、质量管理、市场需求、产品性能指标、成本控制等几个方面对稀土抛光粉产业发展进行了阐述。