滚轮式湿膜厚度规校准方法研究

摘要

介绍了2种校准滚轮式湿膜厚度规的方法,在同样的实验条件下,分别采用2种方法对同一滚轮式湿膜厚度规样品进行多次反复实验测量。从实验测量的复杂性、仪器的精度、所耗时间长短以及重复性等方面进行对比,结果表明由上海市计量测试技术研究院机械所自主研发的标准装置测量精度达到了1μm,测量耗时3～5min。