高透过率0.85THz Mesh带通滤波器研制

摘要

本文研制了一个中心频率为0.85THz的带通滤波器.此滤波器的结构是在一层6μm厚的Mylar膜上镀一层“十”字型周期结构的金膜.首先,利用HFSS仿真不同Mylar膜厚度、不同“十”字型槽长度、槽宽度、不同周期长度下滤波器的透过率谱并对这几个参数进行优化,选取最优参数.然后,使用标准lift-off法制备带通滤波器.最后使用太赫兹时域光谱仪测试带通滤波器透过率谱.实验结果表明,此带通滤波器中心频率为0.83THz,通带带宽为0.3THz,透过率为89.7％,与仿真结果高度吻合.此研究对研制太赫兹带通滤波器有重要的参考价值.