首页> 中文会议>第十四届长三角科技论坛暨第十届华东真空学术交流会 >密闭微小空间残余气压与成分分析试验台研制

密闭微小空间残余气压与成分分析试验台研制

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本装置实现了微小的密闭空间中的残余气压和气体成分的分析.利用超高真空的技术,在一个超高真空系统内对一个密闭的空间进行破坏,并利用动态流导法测出了该微小空间(小于lml)内的原有气体压强,以及气体成分,该研究对分析芯片失效原因,改进真空封装工艺,提供了数据基础.

著录项

来源
《第十四届长三角科技论坛暨第十届华东真空学术交流会》|2017年|397-403|共7页
会议地点上海
作者
Jiong.Jin; 金炯;
展开▼
作者单位

上海市真空学会江苏省真空学会安徽省真空学会浙江省真空学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类测试和检验;
关键词
芯片检测; 微小密闭空间; 残余气压; 气体成分; 超高真空系统; 动态流导法;
入库时间 2022-08-17 11:30:36

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 密闭燃烧性能试验台高压筒体研制 [J] . 万筠钱 ,王昱浩 ,万宏强 . 内燃机与配件 . 2021,第013期
2. 密闭燃烧性能试验台高压筒体研制 [J] . 万筠钱 ,王昱浩 ,万宏强 . 内燃机与配件 . 2021,第013期
3. 微小型行星减速器强度性能试验台的研制 [J] . 郝雷 ,于渤 ,石照耀 . 工具技术 . 2019,第12期
4. 地铁车辆高稳定性高精度空气压缩机试验台研制 [J] . 赵华 ,刘志远 ,石晶 . 城市轨道交通研究 . 2018,第003期
5. 地铁车用空气压缩机试验台恒压控制器的研制 [J] . 姚勇涛 ,张逸成 ,任恒良 . 城市轨道交通研究 . 2003,第005期
6. 空间密闭环境中植物光照系统的研制 [C] . Zhu Jingtao ,朱景涛 ,Guo Shuangsheng . 第一届全国载人航天环境控制与生命保障技术研讨会 . 2012
7. 空间站通用水箱综合性能测试试验台研制 [A] . 刘永威 . 2016

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号