CVDZnS微观缺陷分析

摘要

微缺陷对化学气相沉积硫化锌(CVDZnS)的光学及力学性能有显著影响.本文对沉积工艺进行了介绍.通过SEM、TEM及金相对CVDZnS中的微缺陷如:异常大晶粒、柱状晶、微裂纹、微孔及杂质的结构形态进行了观测,并对形成原因进行了分析:高的沉积生长速率是生成异常大晶粒的主要原因;反应物浓度高加之衬底表面的屏蔽效应及Zn/H2S<1形成结构疏松的柱状晶组织:沉积温度较低加大沉积生长应力,宏观上产生材料的起拱,微观上造成晶粒的弯曲形变并在晶体内产生大量微裂纹;沉积室局部反应物浓度高导致微孔及杂质的产生,须改善沉积室气体流形提高反应物浓度均匀性.