不同分子量的PEG对电镀铜微孔填充行为的研究

摘要

超级电化学镀铜填充技术已经完全应用于超大集成电路大马士革铜互连线制造工艺中。同时,在高密度的印刷电路板孔金属化工艺中也开始使用。随着印刷电路板集成度的不断提高,互连线宽度越来越窄,高深径比的微孔的无空洞、无缝隙的完全填充是成为一个倍受关注的问题。 本文研究了不同分子量的PEG我们通过光学显微镜观察不同分子量的对印刷电路板铜互连线中高深径比的微孔填充行为的影响.PEG对微孔填充的截面图，研究不同分子量的PEG对电镀铜微孔填充效果的影响，同时，利用线性扫描伏安法研究分析不同分子量的PEG对阴极极化的影响.