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气泡法粗漏检测试验及分析

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摘要

文章介绍了使用两种不同液体组合进行的气泡法粗漏检测对比实验,根据检测结果使用拟合法计算等效标准漏率大值L1,给出了两种不同液体组合最小可检等效标准漏率L0及检出率,分析了造成漏检的原因,进而分析了不同液体组合粗漏检测所对应的氦质谱细漏检测最长候检时间及取代氟碳化合物气泡法粗漏检测方法的必要,提出了改进氦质谱粗漏细漏组合检测方法的建议.

著录项

来源
《中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会》|2013年|12-20|共9页
会议地点天津
作者
王庚林; 李飞; 王彩义; 李宁博;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类测试、调整及设备;
关键词
电子元器件; 密封性; 气泡法; 粗漏检测; 等效标准漏率;
入库时间 2022-08-17 10:55:54

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