高分子网络凝胶法制备纳米陶瓷结合剂超细粒度金刚石砂轮

摘要

高分子网络凝胶法是一种制备单组分、多组分纳米粉体以及结合剂粉体的方法.本文采用高分子网络凝胶法制备了陶瓷结合剂超细粒度金刚石砂轮,并对单晶硅片进行了磨削性能试验.结果表明:在试验磨削工艺条件下,高分子网络凝胶法制备的砂轮能够实现对硅片的磨削,硅片表面质量明显优于传统方法制备的超细粒度金刚石砂轮.