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碳酰氟的研究进展

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碳酰氟是一种应用于半导体设备刻蚀和清洗的新型材料,在有机合成及氟化物的干燥、纯化领域也有重要应用.目前国内外关于碳酰氟的制备报道有很多,根据原料种类大体可分为四类,其中CO作为原料制备碳酰氟是应用最多的方法.作为应用于半导体行业的电子气体,对于纯度有一定的要求,因此碳酰氟的纯化也是制约其工业化应用的重要因素.

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来源
《全国特种气体第二十次年会》|2016年|12-16|共5页
会议地点桂林
作者
金小贤; 夏致远; 金向华;
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作者单位

全国特种气体信息站;

中昊光明化工研究设计院有限公司;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类氟及其化合物;
关键词
碳酰氟; 纯化工艺; 一氧化碳; 电子气体;

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