X射线荧光光谱仪真空控制系统设计与实现

摘要

基于x射线荧光光谱仪对测量环境真空度的需求,提出了一种带自动压力控制的真空控制系统.所设计的真空控制系统由智能传感器、控制芯片、上位机、执行机构和辅助电路组成,并设置两种工作模式.实验结果表明,控制系统在两种工作模式下运行正常,具有压力实时监控、系统故障检测等功能,并可以根据压力值改变真空泵的转速,从而达到节约能源的效果.