多尺度多场耦合的纳米TiO2薄膜制备精确能量模型研究

摘要

进入21世纪以来,在各国政府的大力支持下,纳米技术发展迅速,成为引领世界科学技术发展的前沿领域之一.纳米材料制备过程存在能耗高、材料利用率低和环境污染大等问题.目前各国学者研究重点主要是纳米制备技术、纳米技术的毒理学及安全性影响,缺乏纳米生产制备过程的能耗和排放等问题的精确研究,而建立纳米薄膜的精确能量模型是减少纳米材料能源消耗和对环境的影响的关键.本项目采取理论分析与实验验证相结合的方法,开展纳米TiO2薄膜和Al2O3薄膜制备精确能耗分析方法的研究工作,为纳米技术可持续发展提供理论依据和方法指导.