痕量气体传感器的高精度标定问题研究

摘要

标定是气体传感器准确测量的前提.标定过程的准确性及可靠性很大程度决定了传感器的测量精度.采用动态体积法制备混合气体标定气体传感器的方法已经广泛应用.实验发现,标定气体的不确定度对标定结果影响显著,且在ppb-ppm范围内保持标定气体的组分含量稳定不变非常困难.本文针对痕量气体传感器的高精度标定问题进行了系统研究,在ppb-ppm级标定气体制备、痕量气体管道输送及高精度测量仪器等三个方面提出了改进方法,并进行了试验验证,结果表明该方法切实可行,能有效提高气体传感器标定的准确度与可靠性.