基于S波段一体化超导接收组件的集成化技术研究

摘要

本文应用薄膜电路设计技术同时配合微组装工艺,开展小型化平衡低温低噪声放大器的分析与研究.将超导滤波器与平衡放大器采用输入超导电桥的方式进行集成,在同一腔体内以金带键合的方式相级联,制备成一体化超导接收组件.本文重点对小型化平衡低噪声放大器的电路匹配技术、器件级联时的牵引抑制技术进行了研究.该小型化、高集成的超导接收组件为多信道雷达用超导接收前端的研制奠定了良好的技术基础.