基于ZnO纳米片敏感膜的SAW室温H2传感器

摘要

本文采用RF磁控溅射和水热合成法相结合,沉积ZnO纳米片结构薄膜于36°YX-LiTaO3基片,研制多层结构的声表面波氢气传感器.利用XRD及SEM分析ZnO薄膜的晶体结构和形貌,表明所制备的ZnO薄膜为多晶结构、且具有纳米片状形貌.该ZnO纳米片薄膜具有大的表面/体积比,极有利于成为气体敏感材料.将研制的声表面波传感器进行室温条件下对氢气的实时传感检测,结果显示该声表面波传感器具有灵敏的氢气传感特性。