水射流激光复合多道切割Al2O3陶瓷质量的试验研究

摘要

以Al2O3陶瓷为研究对象,开展了低压水射流激光复合单刀切割与多道切割的试验研究.通过试验,对比分析了水射流激光复合切割技术与水射流激光复合多道切割技术的优劣;通过改变首刀激光参数,研究不同首刀激光能量对Al2O3陶瓷基板的切割质量影响.试验结果表明:相较而言,低压水射流激光复合多道切割技术可以明显提高切割质量;在合理的首刀激光能量下,切缝内熔渣残留较少,切槽形貌规则,锥度基本保持的0.12以下.