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Cr掺杂及Cr过渡层对类金刚石薄膜附着力的影响

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摘要

本研究采用线性离子束复合磁控溅射的混合PVD技术制备了含Cr过渡层以及Cr掺杂的DLC薄膜,并测量了其厚度、残余应力、结合力、摩擦系数等性能.划痕测试的结果表明,增加过渡层后薄膜的结合状况得到了明显改善,其残余应力也有所下降,Cr掺杂的DLC薄膜残余压应力最低可达0.23GPa.有关结果为强膜基结合力、低应力、大面积的类金刚石薄膜可控制备提供了新的技术思路.

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来源
《第八届全国表面工程大会暨第三届青年表面工程学术论坛》|2010年|721-724|共4页
会议地点北京
作者
SUN Li-li; 孙丽丽; DAI Wei; 代伟; ZHANG Dong; 张栋; WANG Ai-ying; 汪爱英;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类金属表面防护技术;
关键词
表面涂层处理; 类金刚石薄膜; 可控制备; 铬掺杂; 过渡层; 附着力;
入库时间 2022-08-17 11:20:19

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