微型零件几何量显微视觉测量系统的研制

摘要

针对计量测试领域中小尺寸测量这一难点,设计并研制出一套显微视觉测量系统,完成对微型零件几何量的测量.以半导体芯片导线线宽测量为例,介绍了光学系统的设计,给出了显微测量系统的硬件组成.采用类判别分析法选取阈值完成图像分割,并通过对标准件的测量实现了显微测量系统的标定.最后,给出了芯片导线线宽的测最结果,理论计算及实验结果表明,该系统具有较高的测量精度,为微型零件的检测提供了有用的工具.