钻酸锂薄膜正极材料的研究

摘要

本文采用RF磁控溅射制备了非晶态和晶态的钴酸锂薄膜，利用SEM，XRD分别对钴酸锂薄膜的表面形貌和结构进行了表征，并钴酸锂薄膜进行了电化学性能测试、研究了沉积时不同基底温度和不同退火温度对薄膜组成、结构和电化学性能的影响。