基于ZEMAX软件设计的半导体激光无源光纤耦合系统

摘要

为了克服有源耦合装置繁多、调整难度大以及耗时长的缺点,借助于ZEMAX软件,通过人工优化的方法,设计出了使用柱透镜进行无源光纤耦合时的最佳耦合系统,给出了系统的数据表、点扩散函数(PSF)图、三维图、全视场点列图和远场光斑仿真图.并根据ZEMAX仿真得出的定位尺寸,借助于精密光刻技术和先进硅工艺,制作出了高效的光纤耦合模块,实现了半导体激光器与光纤的无源耦合.这种方法的最大耦合效率可以达到81％,基本接近有源耦合时的最大值85％。