半球静电支承的数字控制

摘要

为了实现高精度球形转子的平衡测量,本文讨论了半球电极支承下静电悬浮装置的实现.基于半球支承下的转子位移测量原理,提出了高精度转子位移测量方案.同时在静电支承装置中采用数字控制方法,可以实现复杂的控制算法,控制器参数调节方便.最后给出了静电加力回路设计和数字控制器的软件编程。