电容传感器温/湿度自补偿技术的研究

摘要

通过对传统平行板式电容传感器对环境温/湿度敏感原因的分析,研制了一种具有特殊结构的电容传感器,采用有效的转换电路实现电容传感器的温/湿度自补偿功能.该传感器应用于非金属薄膜厚度测量,进行了标准纸张厚度测量实验,结果表明,该传感器能对环境温/湿度变化引起的零位漂移进行有效的补偿,并且具有测量线性、结构简单、制造成本低,工作稳定可靠等特点.