首页> 中文会议>第四届中国功能材料及其应用学术会议 >采用氧化铝封装的薄膜式锰铜传感器

采用氧化铝封装的薄膜式锰铜传感器

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

采用薄膜工艺,实现了锰铜压阻元件在氧化铝绝缘体中的无胶封装.锰铜计以“后置式”方式工作.初步试验表明,这种结构的锰铜计可突破常规锰铜计约50GPa的高压测试上限,并且具有极快的响应.

著录项

来源
《第四届中国功能材料及其应用学术会议》|2001年|865-867|共3页
会议地点厦门
作者
杜晓松; 杨邦朝; 周鸿仁;
展开▼
作者单位

中国仪器仪表学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.15;
关键词
锰铜传感器; 薄膜; 氧化铝封装; 极高压力测试; 响应时间;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 薄膜式锰铜传感器--一种新型的超高压力传感器 [J] . 杜晓松 ,杨邦朝 ,王卉 . 仪表技术与传感器 . 2000,第001期
2. 薄膜式锰铜传感器的超高压力标定 [J] . 杜晓松 ,郝建德 ,杨邦朝 . 仪器仪表学报 . 2001,第z2期
3. 快响应薄膜式高压锰铜传感器 [J] . 杜晓松 ,杨邦朝 ,王卉 . 仪器仪表学报 . 2001,第1期
4. 薄膜式锰铜压阻计的动态标定 [J] . 王长利 ,李焰 ,刘文祥 . 力学与实践 . 2011,第005期
5. 热膜式流量传感器的封装研究 [J] . 程颖 . 哈尔滨师范大学自然科学学报 . 2010,第006期
6. 薄膜式锰铜传感器的超高压力标定 [C] . 杜晓松 ,郝建德 ,杨邦朝 . 中国仪器仪表学会第三届青年学术会议 . 2001
7. 锰铜压阻薄膜传感器的制备与性能研究 [A] . 曹彧 . 2021

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号