Al-Fe合金薄膜的电阻率与显微结构

摘要

为了防止信号延迟,要求TFT-LCD布线膜具有低电阻率的特性十分重要.本文采用磁控溅射法制备了不同成分的Al-Fe合金薄膜,用光刻等方法将薄膜样品加工成自行设计的图形,然后用四引线法精确测量了经不同温度退火的Al-Fe合金薄膜的电阻率.研究了中铝靶中添加不同含量的Fe对溅射薄膜电阻率的影响以及Al-Fe合金薄膜电阻率随退火温度的变化行为与显微结构的关系.经400°C退火1h的Al-2.0℅(原子分数)Fe合金薄膜电阻率降低为5.8μΩ·cm,作为TFT-CD布线材料,Al-Fe合金由于具有较低的电阻率而具有优势.研究还发现,Al-Fe合金薄膜电阻率随退火温度的变化行为与显微结构的变化有直接关系.