高Tc超导4×4元面阵研制

摘要

选用高Tc超导薄膜YBa<,3>Cu<,3>O<,7-8>引用微加工技术，制出了4×4元面阵红外探测器，超导膜用湿法工艺光刻成折线结构，总红长约2000μm，可提高敏感元工作电阻率。对于4×4元列阵。16个敏感元公用电极的安排是小关键。在工作人员的设计中。16个敏感元是同时读取信号，其探测率D<'.>1.2×10<'A>-7.2×10<'3cm·Hz<'1/2>·W<'-1>之间，工作温度为88K。