射频磁控溅射沉积发动机涡轮叶片热障涂层研究

摘要

该研究采用射频磁控溅射制备热障涂层的面层ＺｒＯ〈，２〉·８％Ｙ〈，２〉Ｏ〈，３〉；真空电弧镀沉积底涂层ＮｉＣｒＡｉＹ。