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张博静; 赵长颖;
中国工程热物理学会;
粗糙表面; 薄膜; 热辐射特性; 时域有限差分法;
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机译:热释电或薄膜辐射热测量仪热辐射传感器-在硅衬底上的传感器的辐射接收表面上具有可红外吸收特性的光刻结构层,厚度为几微米。
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